记者17日从中国电科获悉，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

离子注入机是芯片制造中的关键装备。据了解，在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素，按预定方式改变材料的电性能。这些元素以带电离子的形式，被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中。离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。

作为国内唯一一家集研发、制造、服务于一体的离子注入机供应商，电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术，自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，累计形成核心发明专利413项，实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展，有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。

电科装备有关负责人表示，下一步该企业将瞄准高端，紧跟先进工艺发展，加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。

文/科技日报记者 孙友芳 王雪姣 付毅飞

编辑/范辉