北京青年报记者获悉，中关村科学城企业——北京中科飞龙传感技术有限责任公司（以下简称“中科飞龙”）自主研发的高性能MEMS（微机电系统）电场传感器，突破了设计、制造、封装测试及可靠性等多项关键技术，发明了国际最高分辨力的MEMS电场敏感芯片，并在国际上首次实现了MEMS电场传感器的落地应用。

中科飞龙于2015年底注册成立，是一家从事高端传感器系列产品研发、生产、销售的国家高新技术企业，总部位于海淀区中关村科学城四季科创中心。在中科飞龙展示大厅里，北青报记者看到了长、宽仅有5毫米的MEMS电场敏感芯片。据中科飞龙联合创始人、总工程师杨鹏飞介绍，这枚芯片在航空航天、国防、雷电预警、安全生产、智慧电网、石油石化、风力发电等领域发挥着关键作用。

“当前广泛使用的非侵入式静电压传感器，其核心敏感元件严重依赖国外进口。高性能MEMS电场敏感芯片与非侵入式静电压传感器的核心敏感元件功能类似，有望实现静电探测核心敏感元件的国产化替代。”杨鹏飞说。

据介绍，基于MEMS电场敏感芯片研发的大气电场仪及气象雷电预警系统已在房山、顺义等区的部分大型油库里落地应用。预警系统通过测量大气电场强度、获取闪电定位等信息，精准预测未来两小时内油库所在区域是否会发生雷电，为安全生产提供技术支撑。

此外，高性能MEMS电场敏感芯片还在高空电场探测、石油化工静电检测、电子信息制造、火工品生产等多个场景开展了实际应用。中科飞龙开发出了MEMS大气电场仪、MEMS高空电场传感器、MEMS静电传感器、MEMS油面电位计等系列化产品。

杨鹏飞表示，中科飞龙正在全力开发基于高性能MEMS电场敏感芯片的“硬压板状态监测传感器”及配套系统，今后有望在电网继电保护装备中实现规模化应用。此外，中科飞龙今年布局研发的高精度气压传感器，未来将在本市机场航空领域落地应用，实现关键核心技术的国产化替代。

文/北京青年报记者 王斌
编辑/高艳