开发区具备从研发、小试到中试生产光子芯片的完整闭环工艺能力。这是在上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线接受检测的芯片晶圆（9月25日摄）。

研究院建成投用的光子芯片中试线，支持高性能光子芯片的自主研发和快速迭代。9月25日，工程师在上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线湿法间工作。

9月25日，工程师在上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线取片。

这是9月25日在上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线上拍摄的湿法工艺。

9月25日，工程师在上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线光刻间工作。

这是9月25日拍摄的上海交通大学无锡光子芯片研究院。

9月25日，工程师在上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线光刻间工作。

这是9月25日拍摄的上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线光刻间内的涂胶作业。

9月25日，工程师在上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线刻蚀间工作。

编辑/刘忠禹