在位于海淀区蓝旗营的中科科仪公司总部，一台台扫描电镜设备正在进行零部件和整机调试。这里的设备单台价值动辄数十万元，有的高达200万元，但仍旧供不应求。“今年我们高端科学仪器订单创下了历史新高。”中科科仪副总经理王高峰透露，预计全年公司分子泵销量同比逆势增长30%，扫描电镜在此前成功进入国际市场后，今年也开始批量出口海外。

扫描电镜被称为“纳米之眼”，是一种可以观测纳米级表面结构的电子显微镜。作为一种高端通用大型科学仪器，扫描电镜是人类认识、探索微观世界最重要的工具。对比来看，人类眼睛的分辨率大约0.2毫米，可以看到一根头发丝的粗细、一张纸的厚度；借助于光学显微镜可以看到0.2微米的这个尺度，可以看到细胞、细菌的结构等；而借助扫描电子显微镜，就可以观察到纳米级尺度，可以观测到病毒、半导体器件的纳米结构等。

“扫描电镜除了应用于尖端科学研究，如今也在新能源、采矿等诸多行业的生产环节以及司法鉴定等行业逐渐应用落地，发挥重要作用。”王高峰透露，公司近两年来加紧针对半导体等行业进行扫描电镜的应用研究，今年其扫描电镜设备已在半导体行业的器件检测和晶圆检测等领域实现应用。

在位于昌平区回龙观的分子泵生产线，一批磁悬浮分子泵正在产线上组装调试。分子泵是中科科仪的另一大“王牌”产品，它是科学仪器、前沿科学装置和产业装备等不可或缺的核心零部件。“航空航天、芯片制造、新能源……凡是需要超高真空环境的行业，都需要用到分子泵。如今我们已经完全掌握了它的自主研制与产业化技术。”王高峰说。

疫情之下，企业的创新研发与批量生产都面临重重挑战。在新一代产品磁悬浮分子泵的研制过程中，为早日完成研制和产业化生产交付，生产和技术团队每天坚持线上开展项目工作会议，留驻公司的技术人员连续数天加班到深夜，全力克服疫情影响，确保交付成果达到最佳状态，最终完成磁悬浮分子泵的研制和产业化生产交付。

11月底，受疫情影响，公司在外地的供应商无法顺利将货物运至北京。眼看企业的生产、交付将受到影响，为保障企业重要生产经营活动，确保供应链安全稳定，市发改委及时伸出援手，协调解决了中科科仪5家供应商货物运输问题。企业负责人介绍，“新十条”政策出台后，目前公司已经全面复工复产，达产率100%，各项经营活动正常开展。2022年，公司销售收入同比增长20%，实现逆势增长。

编辑/彭小菲