据台湾《经济日报》网站4月4日报道,台湾东部外海3日上午7时58分发生7.3级强震,打乱全台半导体业生产,台积电等晶圆生产线均出现生产线破片与停机等状况,牵动英伟达AI芯片制造,甚至惊动三星等海外内存厂为此暂停报价。市场估计,全台七大晶圆厂生产在线晶圆价值损失逾百亿元新台币(1元新台币约合0.23元人民币)。
报道称,这次地震是全台近25年来规模最大的地震,晶圆厂主要所在地新竹、台中等震感强烈。按照半导体及面板厂等无尘室防灾规范,厂区发生4级地震,机台就会主动停机,并且必须疏散无尘室人员。这次地震后,全台主要晶圆厂包括台积电、世界先进、联电、力积电、南亚科、华邦、旺宏等七家业者几乎都出现生产线破片与停机的状况。
针对这次地震,台积电表示,工安系统正常,为确保人员安全,依公司内部程序启动预防措施,部分厂区已进行疏散,目前人员皆安全并开始陆续回到工作岗位,详细情况尚待确认。
世界先进指出,强震后实时疏散员工,无人员受伤,对生产的实际影响仍在确认中。联电表示影响轻微,会努力赶工弥补停工复机的损失,对财务业务无重大影响。
力积电回应,无人员受伤、无产线中断,正在确认机台设备等有无损坏。华邦指出,第一时间疏散同仁,产线机台部分停机,确认没问题后已复机生产。
业界人士分析,晶圆厂内黄光区最怕地震,3日强震发生当下,所有晶圆厂内的黄光区势必都受影响,炉管等装置也难逃冲击,生产在线的晶圆都必须报废重新来过,加上先进制程使用的极紫外光(EUV)设备设计精密,产线须暂停检修,而且之后余震不断,也会干扰生产线恢复状况,影响产出。
业界指出,从3日各厂说法来看,各厂盘点影响程度要四至五天,各大厂也紧急调度更多轮班设备工程师进行应对。以各业者每月营业额估算,全台七大晶圆厂3日强震后,生产在线晶圆价值损失逾百亿元。
编辑/樊宏伟